[08/07/2019] Две работы сотрудников ИОФ РАН включены в список лучших изобретений 2018 года
Сразу два
изобретения сотрудников Института общей физики им.Прохорова РАН (ИОФ РАН)
включены в список «100 лучших изобретений» 2018 года, опубликованном
Федеральной службой по интеллектуальной собственности (Роспатент). Оба
изобретения относятся к разделу «Металлургическая промышленность и
машиностроение».
Под третьим
номером эксперты Роспатента расположили патент № 2 640 370 – «Способ
ультразвукового шлифования алмазных пленок, имеющих внешний слой из
поликристаллических алмазов на поверхности основания». Авторы изобретения
- Виктор Ральченко, Евгений Ашкинази,
Андрей Большаков, Станислав Рыжков, Виталий Конов и Лариса Герасимова.
Предлагаемое
изобретение относится к теплоэнергетике, электрохимии, микроэлектронике,
точному приборостроению. Авторы предложили усовершенствованный способ
механической обработки алмазов, а если более конкретно, - новый способ шлифования
и планаризации высокоаспектных поликристаллических алмазных пленок.
Как рассказал Виктор
Ральченко, заведующий Лабораторией алмазных материалов Отдела
светоиндуцированных поверхностных явлений Центра естественно-научных
исследований ИОФ РАН (СПЯ ЦЕНИ),
«преимущество предлагаемого метода – его высокая производительность, планарное
качество алмазной поверхности при сохранении целостности хрупких тонких
алмазных пленок, простота в реализации, отсутствие необходимости в сложном
наборе реагентов. Как известно, традиционный процесс механического шлифования и
полировки алмазов, особенно поликристаллических алмазов, крайне медленный в
виду необычайно твердости материала. Наш метод позволяет во много раз увеличить
скорость шлифования алмаза, как было продемонстрировано при обработке
поликристаллических алмазных пленок, выращенных в СВЧ плазме».
Это изобретение
может быть использовано при изготовлении конструкционных, в том числе
теплоотводящих, оптических и электронных элементов, например, при планаризации,
уменьшении неплоскостности и шероховатости на теплоотводах, элементах
электрохимии, микроэлектроники и т.д.
Еще один патент,
включенный в список ста лучших в 2018-м, выдан ученым из ИОФ РАН –Евгению
Ашкинази, Виктору Ральченко, Андрею Большакову, Вадиму Седову и Виталию Конову
- за создание СВЧ плазменного реактора с
высокой однородностью температурного поля на поверхности подложек с низкой
аспектной геометрией формы для получения однородной нанокристаллической
алмазной пленки. Именно проблема обеспечения однородности температурного поля
по всей поверхности подложки до последнего времени оставалась камнем
преткновения в подобных реакторах. Существующие на сегодня технические решения
были либо неполными, либо технически трудно реализуемыми.«Предлагаемое нашими
учеными решение позволяет достаточно простым способом с низкой себестоимостью реализовать
метод группового роста и
получать в СВЧ плазменном реакторе качественные однородные пленки на
низкоаспектных подложках различной формы, - говорит один из авторов изобретения,
Евгений Ашкинази, старший научный сотрудник Лаборатории алмазных материалов
Отдела СПЯ ЦЕНИ. - Изобретение относится к СВЧ реакторам для
плазмохимического синтеза алмазных покрытий и пластин из газовой фазы, использующих объёмно-резонаторный метод
передачи СВЧ энергии в область над подложкой с ограничением формы плазменного
образования полусферой».
Ежегодный список
«100 лучших изобретений» - совместный проект Роспатента и Федерального
института промышленной собственности (ФИПС), стартовавший в 2007 году.
Процедура отбора победителей двухэтапная. В течение года
эксперты отраслевых отделов ФИПС отбирают наиболее перспективные заявки и
составляют специальную базу данных «Перспективные изобретения». А затем
комиссия, состоящая из заведующих отраслевыми экспертными отделами и
возглавляемая директором ФИПС, отбирает 100 лучших изобретений и рекомендует
этот список к обнародованию.
|